阿秒科技 SWIR0503AU 短波红外相机搭载索尼 IMX991 SenSWIR 芯片,采用 Cu‑Cu 直接键合技术,为 InP 层薄膜化提供了工艺支持,使更多可见光能够透过 InP 层并到达 InGaAs 吸收层。得益于这一技术设计,相机实现了 400–1700 nm 的宽光谱成像,能够在同一成像系统中获取可见光与短波红外波段的信息,为多波段成像与材料检测提供更多可能。
一、传统短波红外相机的900nm光谱起点
InGaAs是短波红外成像领域常用的光电探测材料,能够将入射光转换为电信号。但在传统 InGaAs 探测器结构中,InGaAs 光电二极管层通常需要在 InP(磷化铟)基板上外延生长。对于采用传统结构的器件,残留的 InP 层会对短波光产生吸收,限制可见光到达下方的 InGaAs 吸收层。
当 400‑780 nm 范围内的可见光入射时,部分光线会被 InP 层吸收,无法有效到达 InGaAs 吸收层。因此,传统 InGaAs 探测器通常难以在可见光波段保持较高的响应度,实际应用中的有效响应范围往往从约 900 nm 开始。
二、 InP 层薄膜化实现400nm
索尼SenSWIR技术将光谱短波限扩展至400 nm的关键,在于对受光面一侧InP层实施薄膜化处理,降低该层对短波入射光的吸收,使更多可见光波段的入射光能够以较低损耗透射至InGaAs吸收层。索尼官方技术资料明确指出,通过InP层薄膜化,器件在可见光波段具备较高量子效率,从而实现400–1700 nm的宽波段响应。
InP层薄膜化的工艺前提,是Cu‑Cu直接键合替代传统铟凸点键合。传统凸点键合依赖凸点的物理高度与间距来保证互连可靠性,对芯片堆叠的厚度余量与顶层减薄空间形成约束。Cu‑Cu键合采用平面化铜焊盘直接压合,键合界面几乎不贡献额外光学厚度,从而为顶层InP层的减薄提供了可行的工艺条件。
400nm-1700nm成像原理图
根据索尼公开的 SenSWIR 相关技术资料,Cu‑Cu 直接键合与 InP 层薄膜化相结合,使传感器能够在保持短波红外探测能力的同时,提升可见光波段的响应,最终实现约 400–1700 nm 的宽光谱响应。
三、阿秒科技SWIR0503AU相机
阿秒科技 SWIR0503AU 短波红外相机搭载索尼 IMX991 SenSWIR,光谱响应范围为 400–1700 nm。得益于传感器在可见光响应和短波红外探测方面的技术设计,该相机能够覆盖从可见光到短波红外的宽光谱范围。这一宽波段覆盖能力意味着,用户可以利用同一台相机获取可见光与短波红外信息,而不必仅为跨越这两个波段而分别配置不同的成像设备。对于需要比较不同波段下材料反射特性、识别目标差异或观察特定光谱特征的应用,这种能力能够为系统集成和多波段成像提供更多选择。
例如,在材料检测与分选中,可见光能够提供目标的颜色、纹理等信息,而短波红外光则可补充部分材料内部组成、含水状态或光谱反射差异等信息。